對于金屬表面的凈化效果更為明顯。金屬中有害的氣體是氫。采用真空加熱時，可使金屬和合金中的氫迅速降至最 低程度，消除氫脆，從而提高材料的塑性、韌性和疲勞強度，提高了工件的整體機械性能。

快速升溫和降溫。熱處理爐比傳統的普通熱處理爐來說最 大的優勢就是能夠快速的進行升溫和降溫，穩定性和重復性都比普通的熱處理爐效果要好的多。

對于工件的內部與表面有良好的保護作用。普通熱處理爐在進行加熱時會是金屬表面進行氧化，從而影響工件的精度，并且力學性能也會下降。而真空熱處理爐在進行處理時金屬是在一定的真空度下加熱，工件避免了與氧氣接觸，工件沒有氧化，無脫碳，可以得到光亮的表面及較好的熱處理質量。可減少工件含金元素揮發性。熱處理能在可控氣氛下加熱和真空淬火，從而減少了工件含金元素揮發性,保證了工件的熱處理質量。熱處理幾乎可實現全部熱處理工藝，如淬火、退火、回火、滲碳、氮化，在淬火工藝中可實現氣淬、油淬、硝鹽淬火、水淬等，還可以進行真空釬焊、燒結、表面處理等。真空熱處理爐熱效率高，可實現快速升溫和降溫，可實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。一般來說，被處理的工件在爐內加熱緩慢，內熱溫差較小，熱應力小，因而變形小。產品合格率高。