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DHHF-1熱絲等離子體薄膜沉積實驗裝置

  • 價格

    ¥578
  • 起訂量

    1
  • 庫存總量

    9999FC
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認證資料 Certification Data

陜西慶成工業有限公司

  • 聯系人:張小姐
  • 經營模式:其他機構
  • 主營產品:雙金屬溫度計、耐磨熱電偶、裝配熱電偶、一體化熱電偶、PT100熱電阻、精密壓力表、HART375手操器、數字壓力校驗儀
  • 所在地:西安市大慶路10號
  • 供應產品:996

產品詳情

Product details

DHHF-1熱絲等離子體薄膜沉積實驗裝置 主要技術參數: ◆真空腔室尺寸:Φ350×H500mm; ◆真空腔室結構:立式前開門結構,后置抽氣系統,雙層水冷; ◆真空系統:擴散泵+機械泵+維持泵; ◆極限真空:5×10-4Pa; ◆真空測量方式:數顯復合真空計、薄膜壓力計; ◆基片臺尺寸:Φ100mm; ◆基片臺升降:80~100mm; ◆基片臺轉速:0~10轉/分(可調); ◆熱絲溫度:2000℃~2500℃; ◆襯底溫度:600℃~1000℃; ◆制膜種類:金剛石厚膜、類金剛石膜、氮化硅和碳化硅膜等; ◆工作電源:AC380 V,50Hz;整機功率5KW。電源型式:熱絲電源; ◆真空控制方式:手動按鈕控制; ◆工藝氣體控制方式:4路工藝氣體流量控制及顯示系統; ◆報警及保護系統:對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執行相應保護措施。

聯系方式

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  • 聯系人姓名:張小姐
  • 聯系人職位:銷售部
  • 聯系人手機:14791155325
  • 企業電話:-88763820
  • 詳細地址:西安市大慶路10號
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