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高壓反偏設(shè)備<p>在設(shè)定電壓（反偏電壓一直加）下對(duì)22個(gè)器件的漏電流依次進(jìn)行測(cè)試，兩工位之間的測(cè)試時(shí)間間隔為10mS，22個(gè)工位測(cè)試完成后自動(dòng)切換到下一組設(shè)定的電壓條件下進(jìn)行測(cè)試，直到測(cè)試文件中設(shè)定的所有電壓測(cè)試條件完成后自動(dòng)結(jié)束測(cè)試<br/>試驗(yàn)電壓：直流電壓50V～3000V <br/>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; 50V～1500V±3%±10V<br/>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; 1500V～3000V±3%±10V<br/>&nbsp;單工位測(cè)試電流：10nA-1mA<br/>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; 10nA～1000nA±3%±1nA<br/>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; 1uA～1000uA±3%±1Ua<br/>測(cè)試二極管規(guī)定反向電流下對(duì)應(yīng)的電壓<br/>&nbsp;&nbsp; 試驗(yàn)電流：1uA-200uA<br/>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; 1uA～20uA±3%±0.1uA<br/>&nbsp;&nbsp